电子背散射衍射（EBSD）
电子背散射衍射，简称EBSD，主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。常应用于多种多晶体材料——工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石——以研究各种现象，如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能（成型性、磁性等）、界面性能（腐蚀、裂纹、热裂等）、相鉴定等。
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电子探针显微分析仪（EPMA）
电子探针显微分析仪(EPMA)，主要用途是透过显微观察固体物质的特性，与扫描电镜一样同属微束分析仪器的一种，已逐渐被实验室作为通用分析仪器之一。
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