深能级瞬态谱仪-科兴测试平台

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深能级瞬态谱仪

仪器描述：深能级瞬态谱仪（DLTS）是一种高灵敏度物理性能测试仪器，主要用于半导体材料及器件中的深能级杂质、缺陷及界面态检测。该仪器通过温度扫描生成DLTS谱，分析杂质类型、密度及分布，并支持电容、电流、FET分析等多种测试模式。技术参数涵盖脉冲电压±20.4V、灵敏度0.01fF及温度范围30K–450K。其应用领域包括半导体研究、光伏电池杂质分析，并配置于高校科研平台（如四川大学、北京大学）。

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· 内容简介

1. 可做项目：质谱、面扫、深度剖析。

2. TOF-SIMS的数据的纵坐标是计数，是强度，不同离子的产额不同，产额高的谱峰强，并不代表含量高，简单说就是强度和含量没有什么直接关系；

· 结果展示

1、质谱+分析

质谱测试：只给出校正后的图片，常规离子列表只分析10个客户指定的离子，超出10个按数据处理收费。

质谱+数据处理：会给出校正后的图片和所有的离子谱峰归属列表。